


| Diameter pabrik (D) | Φ200 |
|---|---|
| Diameter poros (d) | Φ30 |
| Tipe palung | berbentuk U |
| Jaring (#) | 800#, 1200# |
| Objek pemrosesan | Wafer silikon karbida 6 inci dan 8 inci |
| Kecepatan peralatan (r) | 28000r/menit |
| Kecepatan umpan (vf) | 200-400mm/menit |
| Jumlah penggilingan (ae) | 0,3-0,5 mm |