


| Diameter pabrik (D) | $200, Yu 246, 303 di dalam, 350 di dalam, dll |
|---|---|
| Diameter dalam (d) | $158, $190, $240, $274, dst. |
| Jumlah gigi (pcs) | 28, 32, 69, dst. |
| Jaring (#) | 320#~15000# |
| Objek pemrosesan | Wafer 6 inci, 8 inci, 10 inci |
| Kecepatan peralatan (r) | 25000-50000r/menit |
| Kecepatan umpan (vf) | Kekasaran <4µm/s, halus <0,4µm/s |
| Jumlah penggilingan (ae) | Kasar <0,6mm, halus <0,03mm |